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Improvement in Sensitivity for Brief Measurement of Diffusion Profiles of Deep Impurities in Semiconductors Based on a Capacitance Measurement on an Angle-Lapped Surface
http://hdl.handle.net/11478/00001659
http://hdl.handle.net/11478/000016595d380a1a-232d-4c0f-8aa6-e2ebe0f30f9a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
31(1)-43.pdf (528.5 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2021-02-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Improvement in Sensitivity for Brief Measurement of Diffusion Profiles of Deep Impurities in Semiconductors Based on a Capacitance Measurement on an Angle-Lapped Surface | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | diffusion profile | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | impurity diffusion | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | deep impurity | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | ICTS, DLTS | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Schottky contact | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Schottky electrode | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Si.-Au | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | diffusion profile | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | impurity diffusion | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | deep impurity | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | ICTS, DLTS | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Schottky contact | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Schottky electrode | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Si.-Au | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
MOROOKA, Masami
× MOROOKA, Masami |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Morooka proposed a brief method for measurement of diffusion profiles of deep impurities based on a capacitance measurement by moving Schottky electrode on an angle-lapped surface. However, the detection limit for the concentration of deep impurities is considerably high by this method, because the depletion capacitance is very small due to the small contact area of the Schottky electrode with the surface. By evaporating a line of metal dots for Schottky electrode, the detection limit was improved less than 1/1000 of the concentration in the previous method, and that is less than 5 X 1012 cm-3. The detection limit and spatial resolution have been discussed. | |||||
| 書誌情報 |
福岡工業大学研究論集 en : RESEARCH BULLETIN OF FUKUOKA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 巻 31, 号 1, p. 43-50, 発行日 1998-10-15 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 02876620 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福岡工業大学 | |||||
| 出版者（ヨミ） | ||||||
| 値 | フクオカ コウギョウ ダイガク | |||||
| 別言語の出版者 | ||||||
| 値 | Fukuoka Institute of Technology | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文(Article) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 値 | 紀要論文 | |||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| 値 | Departmental Bulletin Paper | |||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| 値 | text | |||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 値 | 02 | |||||
