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点欠陥が関与するSi中Au拡散数値解における各定数と境界および初期条件
http://hdl.handle.net/11478/938
http://hdl.handle.net/11478/93850e4a9e2-db08-4f49-946f-0be7f8a801c3
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
11478-938_p231師岡 正美.pdf (369.1 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-06-13 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 点欠陥が関与するSi中Au拡散数値解における各定数と境界および初期条件 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Boundary and Initial Conditions and Constants in the Numerical Calculation of Au Diffusion in Si Affected by Point Defects | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Au:Si | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | impurity diffusion | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | numerical solution | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | substitutional impurities | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | interstitial impurities | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Au:Si | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | impurity diffusion | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | numerical solution | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | substitutional impurities | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | interstitial impurities | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
師岡, 正美
× 師岡, 正美 |
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| 著者(ヨミ) | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1960 | |||||
| 姓名 | モロオカ, マサミ | |||||
| 別言語の著者 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1961 | |||||
| 姓名 | MOROOKA, Masami | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | In numerical calculations of the impurity diffusion affected by point defects,one uses many uncertain constants such as thermal equilibrium concentrations and diffusion constants of vacancies and selfinterstitials. Initial concentrations of substitutional and interstitial impurities are unknown in indiffusion process in addition to above constants. Author has used tentative constants and initial values in previous calculations; for example,initial concentrations multiplied thermal equiribrium values by 10⁻⁵ in indiffusion process. In this paper,a method to provide constants and initial and boundary conditions in the numerical calculation of Au diffusion in Si affected by vacancies and self-interstitials is proposed. | |||||
| 書誌情報 |
福岡工業大学研究論集 巻 40, 号 2, p. 231-236, 発行日 2008-02-29 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 02876620 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10036974 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 値 | 369132 bytes | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 501 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | テン ケッカン ガ カンヨスル Siチュウ Au カクサン スウチカイ ニ オケル カクテイスウ ト キョウカイ オヨビ ショキ ジョウケン | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福岡工業大学 | |||||
| 出版者（ヨミ） | ||||||
| 値 | フクオカ コウギョウ ダイガク | |||||
| 別言語の出版者 | ||||||
| 値 | Fukuoka Institute of Technology | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文(Article) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 値 | 紀要論文 | |||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| 値 | Departmental Bulletin Paper | |||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| 値 | text | |||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 値 | 02 | |||||
