WEKO3
アイテム
固体拡散材－BNウエハ－を用いたシリコンへのホウ素拡散における窒素ガス流中の酸素の影響
http://hdl.handle.net/11478/927
http://hdl.handle.net/11478/9278102add4-3854-4c57-a508-b3419617792c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
11478-927_p9田中 秀司.pdf (890.3 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-06-12 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 固体拡散材－BNウエハ－を用いたシリコンへのホウ素拡散における窒素ガス流中の酸素の影響 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Influence of the Oxygen Content in Flowing Nitrogen Gas on the Boron Diffusion into Silicon Using BN Wafer, the Solid-State Diffusion Source | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | boron diffusion | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | boron nitride | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Si | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | flowing nitrogen gas ambient | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | oxygen content | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | boron diffusion | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | boron nitride | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Si | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | flowing nitrogen gas ambient | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | oxygen content | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
北川, 興
× 北川, 興× 西川, 正人× 伏井, 康人× 田中, 秀司 |
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| 著者(ヨミ) | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1890 | |||||
| 姓名 | キタガワ, ハジメ | |||||
| 著者(ヨミ) | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1891 | |||||
| 姓名 | ニシカワ, マサト | |||||
| 著者(ヨミ) | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1892 | |||||
| 姓名 | フクイ, ヤスト | |||||
| 著者(ヨミ) | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1893 | |||||
| 姓名 | タナカ, シュウジ | |||||
| 別言語の著者 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1894 | |||||
| 姓名 | KITAGAWA, Hajime | |||||
| 別言語の著者 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1895 | |||||
| 姓名 | NISHIKAWA, Masato | |||||
| 別言語の著者 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1896 | |||||
| 姓名 | FUSHII, Yasuhito | |||||
| 別言語の著者 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1897 | |||||
| 姓名 | TANAKA, Shuji | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | The effect of the oxygen gas content included in a flowing nitrogen gas ambient on the boron diffusivity is studied for the boron diffusion into silicon at 1050°C using boron nitride (BN) as the solid-state diffusion source. When the oxygen content is higher than about 4%, total amount of diffused-in boron concentration is found to decrease, resulting in higher sheet resistivity and smaller junction depth. In order to obtain high concentration- and reproducible boron diffusion, it is suggested that the oxygen gas content in a flowing nitrogen gas ambient should be kept lower than 4%. | |||||
| 書誌情報 |
福岡工業大学研究論集 巻 40, 号 1, p. 9-13, 発行日 2007-09-30 |
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| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10036974 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 値 | 890342 bytes | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | コタイ カクサンザイ BNウエハ オ モチイタ シリコン エノ ホウソ カクサン ニ オケル チッソガス リュウチュウ ノ サンソ ノ エイキョウ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福岡工業大学 | |||||
| 出版者（ヨミ） | ||||||
| 値 | フクオカ コウギョウ ダイガク | |||||
| 別言語の出版者 | ||||||
| 値 | Fukuoka Institute of Technology | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文(Article) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 値 | 紀要論文 | |||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| 値 | Departmental Bulletin Paper | |||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| 値 | text | |||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 値 | 02 | |||||
| URL | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 02876620 | |||||
